1 总 则
1.0.1 为在洁净室及相关受控环境(第3章起简称洁净室)的施工及验收中,贯彻国家有关的方针政策,规范施工要求,统一检验方法,明确验收标准,以保证施工和安装质量,达到节能、 节材、节水、保护环境和安全操作的目的,制定本规范。
1.0.2 本规范适用于新建和改建的、整体和装配的、固定和移动的洁净室及相关受控环境的施工及验收。
1.0.3 洁净室及相关受控环境的施工及验收,应符合下列规定:
1 由具有建设主管部门批准的专业资质的施工公司,按批准的文件和图纸施工,施工人员均应经过有关洁净室的施工、验收规范的培训及考核,特殊工种应持有上岗证,并应由具有专业 监理资质和经过专业培训的监理机构实行全过程监理。
2 施工前应制定施工组织设计。施工中各工种之间应密切 配合,按程序施工。没有图纸、技术要求和施工组织设计的工程项目不应施工。工程施工中需修改设计时应有设计单位的变更文 件。对没有竣工图纸的工程项目不应进行性能验收。
3 工程所用的材料、设备、成品、半成品的规格、型号、性能及技术指标均应符合设计和国家现行有关标准的要求,并有齐全合法的质量证明文件。对质量有疑义的,必须进行检验。过期材料不得使用。
4 分部分项工程或工程中的复杂工序施工完毕后,应进行分项验收,分项验收不合格的必须返工直至合格,并记录备案。
1.0.4 本规范应与现行国家标准《建筑工程施工质量验收统一标准》GB 50300配套使用。
洁净室及相关受控环境的施工及验收,除执行本规范外,还应符合国家现行有关标准的规定。
2 术 语
2.0.1 洁净室及相关受控环境 cleanrooms and associated controlled environment
洁净室及其附属的、辅助的、相联系的开放或封闭的内部或周边空间,该空间的悬浮微粒浓度等参数也受到符合相关标准的控制。
3.0.2 单向流洁净室 unidirectional airflow cleanroom
由方向单一、流线平行并且速度均匀稳定的单向流流过房间工作区整个截面的洁净室口
2.0.3 非单向流洁净室 non-unidirectional airflow cleanroom
是指流线不平行、方向不单一、速度不均匀而且有交叉回旋的紊乱气流流过房间工作区整个截面的洁净室。亦称乱流洁净室。
2.0.4 混合流洁净室 mixed airflow cleanroom
同时分别存在单向流和非单向流两种气流流型的洁净室。
2.1.5 微粒 particle
悬浮在空气中的、固态的或液态的、活性的或非活性的物质,其粒径(对本标准而言)在10nm?1002m的范围。
2.2.6 气溶胶 aerosol
在空气中悬浮的微小固体或液体微粒的分散系。
2.0.7 生物气溶胶 bio-aerosol
散布于气态环境中的生物介质。
2.0.8 浮游菌 airborne bacteria
悬浮在空气中的带菌微粒。
2.0.9 沉降菌 scttlemental bacteria
降落在表面上的带菌微粒。
2.0.10 测试用气溶胶test aerosol
呈气态悬浮的固体或液体的微粒,其粒径分布和浓度已知且受控。
2.0.11 泄漏 leak
空气过滤器系统因完整性不佳或有缺陷所引起的污染物透过,透过的污染物超过下风向浓度预计值。
2.0.12 检漏 leak test
找到过滤器和机组部件泄漏的方法,即使用气溶胶光度计或光学粒子计数器以相互重叠的扫描区域扫描通过测试区。
2.0.13 过滤器安装后泄漏测试 installed filter leakage test
为确认过滤器安装良好所进行的测试。测试时要验证设施没有旁路渗漏,过滤器及过滤器和安装框架间的密封面没有缺陷和泄漏。
2.0.14 静态 at-rest
全部建成且设施齐备,净化空调系统运行正常,现场没有人员。此时生产设备已安装完毕而未运行的洁净室状态;或生产设备停止运行并进行自净达到规定时间后的洁净室状态;或正在按 建设方(用户)和施工方商定的方式运行的洁净室状态。是洁净 室的三种占用状态(空态、静态、动态)之一。 .
2.0.15 高纯气体 ultrapure gas
气体成分纯度大于或等于99.9995%,含水量小于5ppm的气体。
2.0.16 纯化水purity water (去离子水或深度脱盐水)
指温度25℃时,电阻率大于0.1×106Ω?肠尘的水。
2.0.17 高纯水(注射用水)ultrapure water
指温度25℃时,电阻率大于0.1×106Ω?cm,水中大于或 等于0.5μm的尘粒小于300粒/mL,活微生物小于9个/mL的 纯水。
2.0.18 大(宏)粒子 macroparticle
当量直径大于5μm的微粒。
2.0.19 超微粒子 ultrafine particle
当量直径小于0.1μm的微粒。
2.0.20 永久气体 permanent gas
临界温度低于-10℃的气体,如空气、氧、氮、氮、甲烷、一氧化碳等。
2.0.21 特种气体 special gas
亩满足特定用途的气体,包括单一气体或混合气体。单一气体有259种,其中电子气体115种,有机气体63种,无机气体35种,卤碳素气体29种,同位素气体17种。
2.0.22 医用气体 medical gas
符合医疗相关规定要求,供治疗、诊断、预防等医学方面使用的气体。
2.0.23 洁净气体 clean gas
单位体积所含微粒的数量小于或等于使用此气体的洁净环境洁净度的常用气体。
2.0.24 分子态污染物 airborne molecular contamination, AMC
含在空气中的具有分子量级的污染物,如酸性气体、碱性气体、凝聚性有机物质、用于半导体的掺杂物、高挥发性有机物质 和分子级的金属等。
3 建筑结构
3.1 一般规定
3.1.1 洁净室结构工程施工前应编制施工组织设计或施工方案, 并与洁净室施工配合。
3.1.2 在主体结构未经验收前,不得进行后续工序的施工。
3.2 结构施工要求
3.2.1 装配式混凝土结构的洁净室,应在预制构件上按设计图纸预留孔、洞。
3.2.2 有耐压、防渗漏要求洁净室的混凝土施工应按设计要求采用抗渗混凝土,并应制定配合比操作程序,按相关要求先做试块的抗渗试验,浇筑后应分层捣实,加强养护管理。
3.2.3 洁净区内的现浇混凝土剪力墙模板不宜采用拼缝较多的组合钢模板,宜采用大尺寸硬木面层厚型胶合板。
3.2.4 对大面积洁净空间采用的结构模板,应分区设控制点, 多级复核。应防止建筑模板受潮起拱。宜采用清水混凝土精细施工,应随捣随抹光,一次性达到建筑设计标高。模板的密封胶填 缝与固定应同时进行,不得遗漏。
3.2.5 砌体施工质量控制等级应满足现行国家标准《砌体工程施工质量验收规范》GB 50203第3.0.10条的A级要求。
3.2.6 对分割洁净室相关受控环境的空间成为各自独立密封体到顶的填充墙,墙体(板)与梁、板底的缝隙应填充密实,并应作密封处理。
3.2.7 高大洁净空间内的钢结构施工应严格控制构件的尺寸偏差,对设计不要求留缝的节点,应在钢结构主体验收合格后用密封材料堵严。钢结构表面的防腐、防火涂料不得漏涂。
3.2.8 既有建筑改造为洁净室时,应对原有建筑进行结构验算, 并应仔细检查原有结构,对原结构中出现的裂缝或缝隙应采取措施进行加固或密封。
3.3 分项验收
3.3.1 结构施工应按分项工程施工工艺规程进行并验收。
3.3.2 结构施工应在地基基础、主体结构、二次结构完成后, 进行分项验收。
3.3.3 结构施工分项验收应包括以下主控项目:
1 混凝土结构表面应平整、无裂缝、无麻面、无掉皮、无起沙。
检验方法:观察。
检验数量:全数检查。
2 填充墙应与周围结构严密接触。
检验方法:观察。
检验数量:全数检查。
3 暴露在洁净区内的钢构件表面防腐涂料应进行涂层附着力检测。
检验方法:按照现行国家标准《漆膜附着力测定法》 GB 1720或《色漆和清漆、漆膜的划格试验》GB 9286执行。
检验数量:按构件数抽查2%,且不应少于3件,每件测3处。
4 暴露在洁净区内的钢结构防火涂料应抽检粘结强度、抗压强度,并应符合有关钢结构防火涂料应用技术规程的规定。
检验方法:检查复检报告或按现行国家标准《建筑构件防火 喷涂材料性能试验方法》GB 9978的规定抽测。
检验数量:查阅全部测试报告或抽测不少于2次。
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