1 范围
GB/T 25915本部分依据洁净室及相关受控环境空气中具体化学物质（种、组、类）的 浓度，对空气化学污染（ACC）进行分级。同时，本部分在分级技术要求中，给出了包括检测方法、分析方法和时间加权系数在内的规程。
本部分目前只考虑洁净室运行工况下空气中100 g/m3~10-12 g/m3的化学污染物浓度。
本部分不涉及那些空气中虽有化学物质存在、但不认为对产物或工艺有危害风险的行业、 工艺和生产。
本部分无意探讨空气化学污染物的特性。
本部分不包含对表面化学污染的分级。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
3 术语和定义
GB/T 25915.6-2010/IS014644-6:2007, IDT《洁净室及相关受控环境——第6部分：词 汇》中界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1 一般术语
3.1.1
化学污染 chemical contamination
危害产物、工艺、设备的非颗粒物质。
3.1.2
按化学物浓度划分空气洁净度 ACC air cleanliness by chemical concentration
以ISO-ACC表示的、按化学物浓度划分空气洁净度的结果，代表了给定的某种或某组 化学物种类、以克每立方米为单位的最大允许浓度。
注1：生物大分子归为粒子，不包含在本定义中。
3.1.3
空气化学污染 air chemical contamination
存在于空气中、其化学特性可对产物、工艺、设备有不良影响的任何物质。
3.1.4
按化学物浓度划分表面洁净度 SCC- surface cleanliness by chemical concentration 以化学物浓度所表示的表面洁净度状况。
3.1.5
表面化学物浓度 surface chemical concentration
存在于表面上、因所具有的化学特性可对产物、工艺、设备有不良影响的任何物质。
3.1.6
污染物类别 contaminant category
沉积在关注表面时有特定和类似危害结果的一组化合物的统称。
3.1.7
释放气体 out-assinq
从材料中释放出气态或蒸汽态分子物质。
3.1.8
按化学物浓度等级划分空气洁净度（ACC） air cleanliness by chemical concentration（ACC） class
表示某给定的化学物种类或某组化学物种类的最大允许浓度的、以克每立方米为单位的分级数字。
注1：最大允许浓度规定见表1,或按4.2节中的等式标定N。
注2：按GB/T 25915/ISO 14644本部分的分级仅限于0（洁净度最差）至-12（洁净度最佳）级。
注3： ACC等级数字只有与规定了相应的化学物种类或成组化学物类别的ACC描述符一起使用时才有效。
注4：空气化学物洁净度级别负号（-1至-12）是ACC等级数字N的组成部分，并必须注明。空气化学物洁净度必须有负号（0级除外）。
注5： ISO分级可以是小数点后保留1位数字的非整数数字。
3.2 污染物类别
3.2.1
酸 acid
化学反应特性为接受电子对并建立新化学键的物质。
3.2.2
碱 base
化学反应特性为给出电子对并建立新化学键的物质。
3.2.3
生物毒素 biotoxic
危害生物、微生物、生物组织或细胞个体生长与存活的物质。
3.2.4
可凝聚物 condensable
可在洁净室运行状态下因凝结而沉积在表面上的物质。
3.2.5
腐蚀剂 corrosive
使表面产生破坏性化学变化的物质。
3.2.6
掺杂物 dopant
经产物本体吸 收或（和）经扩散后与本体合为一体，即使为微量亦可改变材料特性的物质。
3.2.7
有机物 organic
以碳为基本元素，含氢，含或不含氧、氮等其他元素的物质。
3.2.8
氧化剂 oxidant
沉积在关注表面或产物上后，形成氧化物（O2/O3）或参与氧化还原反应的物质。
4 分级
4.1 概述
应按4.2给出的分级描述符表示分级。描述符的形式为“ISO-ACC”，它明确了空气中某类污染物、某种污染物、或某组污染物的最大允许浓度。
4.2 ISO-ACC描述符格式
ACC等级数字只有与该等级所适用的、由ISO-ACC描述符所说明的某类污染物、某种污染物、或某组物质一起使用时方为有效。
ISO-ACC描述符的格式为：
ISO-ACCN（X）级
其中：
x——是某化学物质或一组化学物质，至少包括：
酸（ac）；
碱（ba）；
生物毒素（bt）；
可凝结物（cd）；
腐蚀物（cr）；
掺杂物（dp）；
有机物总量（or）；
氧化剂（ox）；
或一组物质，或某种物质。
N—ISO-ACC等级，它是浓度Cx的常用对数值,其范围为0 ~ T2, Cx的单位为驳/尘3。
N可以是小数点后保留一位数的非整数等级；
N= log10[Cx];
例1：样本为n-甲基毗咯烷酮（NMP）,空气污染物所测值为8E-7g/m3, n=-6,097,处 于-6级的E-6/m3的等级限值之内。
表述为：ISO-ACC-6 级[NMP]
例2：样本为有机化合物,总有机化合物（TOC）的实测值为6E-5g/m3,处于-4级濒贰-4驳/尘3
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