电子工业洁净厂房气流流型和送风量设计要求
1. 气流流型的设计，应符合下列要求：
（1）气流流型应满足产物生产工艺和空气洁净度等级的要求。空气洁净度等级为1～5级时，应采用单向流或混合流；空气洁净度等级为6～9级时，宜采用非单向流；
（2）洁净室工作区的气流流速应满足生产工艺和工作人员健康的要求。
2. 洁净室的送风量，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定。
3. 洁净室（区）所需的满足空气洁净度等级的洁净送风量和气流流型，宜按表1计算。
表1 洁净送风量（静态）和气流流型
空气洁净度等级 | 气流流型 | 平均风速（尘／蝉） | 换气次数（丑-1） |
1～5 | 单向流或混合流 | 0.20～0.45 | - |
6 | 非单向流 | - | 50～60 |
7 | 非单向流 | - | 15～25 |
8～9 | 非单向流 | - | 10～15 |
注:（1）换气次数适用于层高小于40m的洁净室。
（2）室内人员少、热源少时，宜采用下限值。
