电子工业洁净厂房特种气体系统设计要求如下：
1. 特种气体应采用外购钢瓶气体、液态气体供应，在电子工厂内应设置储存、分配系统。
2. 洁净厂房内特种气体的储存分配间应采用耐火极限不低于2.0h不燃烧体的隔墙与洁净室（区）分隔，隔墙上的门窗应为甲级防火门窗。
3. 洁净室（区）内可燃或有毒的特种气体分配系统的设置，应符合下列规定：
（1）特种气体钢（含硅烷或硅烷混合物）应设置在具有连续机械排风的特气柜中；
（2） 排风机、泄漏报警、自动切断阀均应设置应急电源；
（3） 一个特气分配系统供多台生产设备使用时，应设置多路阀门箱；
（4） 可燃性、氧化性特种气体管道的设置应符合《GB 50472-2008 电子工业洁净厂房设计规范》第10.1和10.2节的有关规定。
4. 特种气体分配系统应设置吹扫盘，并应符合下列规定：
（1） 应设置应急切断装置；
（2） 应设置过流量控制装置，
（3） 应设置手动隔离阀；
（4） 吹扫气源宜采用常用气体系统；
（5） 不相容特种气体的吹扫盘不得共用吹扫气瓶。
5. 硅烷或硅烷混合物的气瓶应存放在洁净厂房建筑外的储存区内。储存区的设置应符合下列规定：
（1） 储存区应至少三面敞开，气瓶应固定在钢制框架上；
（2） 气瓶或气瓶组与周围的构筑物或围栏的间距应大于3.0m;
（3） 储存区顶棚的高度应大于3.5m。
