6.7.1 洁净室气体系统分项验收应首先检查以下各项：
（1） 各种成品应有产物合格证，材料应有质量证明文件。
（2） 实际使用的管道材料和规格应符合设计要求。
（3） 系统安装应完整、正确，连接应可靠。除楼层或区域总管与所安装系统的供气阀门（或供气管）不连接外，其他管路、阀门和附件都应安装连接完毕。
（4） 不同系统的管道应有明显的识别标志，需装拆、检修、维护的地方必须有识别标志，每个支、吊架附近也应有识别标志。
6.7.2 洁净室气体系统的分项验收应包括以下主控项目：
（1） 所有气体管道应进行气密检查，检查用压力表精度等级不应低于1.5级，指示压力应在表量程1／3～2／3之间。
检验方法：检查记录。
检验数量：全部系统管道。
（2） 高纯气体管道安装完毕应彻底吹除，并对排气洁净度、干燥度和输送气体纯度进行检查。
试验介质为管道实际输送的气体或氮气。试验介质的洁净度以微粒数衡量，干燥度以水痕量浓度衡量，纯度以氧、二氧化碳痕量浓度衡量。
检验方法：检查有资质的检验单位的检验报告。
检验数量：全部检验报告。
（3） 按设计要求做管材样板检查的，管材轴向剖面长度不应小于60mm。
检验方法：检查记录和样板。
检验数量：抽查30％。
（4） 对输送压力大于等于0.5MPa的可燃气体、有毒气体的管道焊接处应进行抽样射线照相检查，并应符合设计的焊缝等级要求。
检验方法：X射线无破损检测。
检验数量：全部。
（5） 气体管道应在气密性检验合格后进行泄漏率检查，以设计压力保持24h后泄漏率不超过0.5％为合格。允许堵漏后再试验。
泄漏率按下式计算：
式中：A--泄漏率（％）
P1、笔2-试验开始和结束时的绝对压力（惭笔补）；
T1、罢2-试验开始和结束时的绝对温度（碍）。
