洁净室纯化水与高纯水设计要求如下：
1. 工艺用纯化水与高纯水处理设备的安装应符合下列规定：
（1） 纯化水处理设备的安装除应符合设计要求外，还应符合现行国家标准《电子级水》GB 11446.1等有关规定。
（2） 纯化水处理流程工艺布置与安装方式应合理、安全、方便、美观。必须校核安装承重安全。
（3） 纯化水水站的地面、沟道和设备必须作防腐处理，应有急救处理药箱的固定放置地点。
（4） 沙滤器、活性炭过滤器和离子交换器的安装应保持垂直。膜过滤器、反渗透系统、超滤系统和电再生离子系统基架应安置水平。
（5） 集水滤帽固定应牢固，无污损。
（6） 滤器中所有介质应按量投入、铺平、冲洗，待所有介质全部加完后反洗，反洗时间对沙层应为1h，对活性炭应为2h。并应再正洗30min。
（7） 离子交换器应按设计要求加装树脂。
（8） 反渗透压力容器的交换膜可用甘油作润滑剂，但不得使用硅脂。
（9） 膜过滤设备安装膜之前应彻底清洗设备管路，不得有颗粒物进入膜组件。
2. 纯水和高纯水管道、管件、阀门安装前应清除油污和进行脱脂处理。
3. 管道、管件的预制、装配工作应在洁净环境内进行，操作人员应穿洁净工作服、戴手套上岗。
4. 管件安装前后或停顿工作时，应充高纯惰性气体保护，并应以洁净塑料袋封口，一旦发现封袋破损应及时检查处理。
5. 纯化水和高纯水（含注射用水）管道以及纯蒸汽管道采用不锈钢（SUS）管时，其管道加工、安装应符合下列规定：
（1） 不锈钢管在堆放、加工过程中，不应直接与碳钢支架管卡接触，应以塑料或橡胶垫片隔离。
（2） 管道连接宜采用焊接、焊环活套法兰和凹凸法兰等连接方式。
（3） 焊接应采用自动焊，管内灌充纯氩气（纯度99.999％）直至焊接、吹扫完毕。管壁冷却后再用四氯化碳脱脂，然后封闭管口。施焊方向与充气气流方向一致。
（4） 管道部件的点固焊可采用手工钨极氩弧焊，充氩应直至管壁冷却。
（5） 设计无要求时，法兰垫片宜采用非金属的聚四氟乙烯或软质聚氯乙烯板。法兰紧固螺栓应采用不锈钢材料。
（6） 焊接人员应有相应资质，施焊前应按施工要求做出样品，并应在检验合格后上岗。
（7） 管道系统安装应具备无不流动死水段的特性，系统安装后应有不小于0.5％的坡度。系统管道和所有设备的安装应具有残余水放空能力。
（8） 管道在焊接、安装结束后，应将管内焊缝氧化物冲洗干净，再进行脱脂和酸化钝化，并记录在案。
6. 纯水、高纯水管道当采用偏聚二氟乙烯（PVDF）管时，应符合本规范第6.3.6条的相关要求；当采用硬聚氯乙烯（PVC）管、聚丙烯（PP）管和工程塑料（ABS）管时，其管道加工、安装应符合下列规定：
（1） 管道加工、安装时应在室温5℃以上、相对湿度85％以下的清洁环境中进行。
（2） 管道的连接宜采用粘接、焊接、平焊法兰连接及活接头连接。
（3） 管道或管件的承口不应歪斜和厚度不匀。管端不应有裂缝。管道的承插间隙不应大于0.3mm。
（4） 管道在粘接前，应对粘接面进行磨砂和清洁处理，不得沾污。应远离火源。承口上涂胶粘剂，应不少于2次。应保证插入承口的深度，插入深度达到规定后应保持20min。
（5） 活接头的接管与管道应采用粘接、焊接或螺纹连接。
（6） 埋地敷设时，应对垫层进行处理或设简易管沟；安装在地面上时，应设防护罩。
（7） 管道采用焊接或平焊法兰连接时，应采用自动或半自动热焊机。管道法兰应根据不同厚度加工坡口。焊缝应填满，并高于管子表面2mm～3mm，宽度均匀，不应有焦黄、断裂、虚焊等缺陷。焊缝强度不应低于母材的60％，焊缝材质应与母材相同。不同管壁厚度的管道、附件不得对焊。
（8） PVDF管道焊接时应为均匀的双重焊道，焊道宽度由壁厚确定，并不应小于2mm。
（9） 管道支、吊架不应设在管子接头、焊缝处。所有阀门应以支架支承。支、吊架与管子之间应填入软质绝缘物分隔。
（10） 穿越围护结构时，应设套管，套管内不应有接头。
（11） 直管段长度超过20m时，应安装伸缩管。
7. 纯水、高纯水管道系统压力试验合格后，应在系统运转前进行自来水冲洗，冲洗速度宜大于2m/s，直至冲洗前后水质相同。冲洗后应再用10％双氧水进行后级循环消毒4h以上，然后用反渗透处理的水冲洗直至前后水质符合设计要求。
