一、洁净室气流检测方法
1. 气流流型的检测应按以下步骤进行：
（1） 布置测点：
1）垂直单向流洁净室选择纵、横剖面各一个，以及距地面高度0.8m、1.5m的水平面各一个；水平单向流洁净室选择纵剖面和工作区高度水平面各一个，以及距送、回风墙面0.5m和房间中心处等3个横剖面，所有面上的测点间距均为0.2m～1m；
2）乱流洁净室选择通过代表性送风口中心的纵、横剖面和工作区高度的水平面各1个，剖面上的测点间距为0.2m～0.5m，水平面上测点间距为0.5m～1m。两个风口之间的中线上应有测点。
（2） 测定方法：用发烟器或悬挂单丝线的方法逐点观察和记录气流流向，并可用量角器量出角度，发烟源可用超声波雾化（0.5μm～50μm水雾）的去离子（DI）水、喷射方法生成的乙醇或正二醇、固态二氧化碳（干冰）等，在高强度光源下示踪。在确保对人和物无损害时可以四氯化钛（TiCl4）作示踪粒子。
2. 气流流向的检测方法如下：
（1） 当要检测一个区域的定向流流向时，应在该区域头尾之间，分段立杆，杆上不同高度挂有单丝线，或者发烟，按照测定气流流型同样的方法，观测定向流流向并记录。也可分段接力发烟，目测绘制或摄影、摄像。
（2） 当要测一个洁净室的定向流流向时，应在该室门口至排（回）风口之间设立测杆，方法同上。
3. 流线平行性应按以下方法检测：
（1） 用单丝线观测送风平面的气流流向，每台过滤器对应一个观察点。
（2） 用量角器测定气流流向偏离规定方向的角度，避免人的干扰。
二、洁净室气流技术要求
1. 当对室内单向流品质作细致确认时，可测流线平行性。流线平行性应按上面步骤进行检验，在工作区内气流流向偏离规定方向的角度不大于15°。
2. 当对室内气流流型作细致确认时，可测气流流型。室内气流流型应按上面步骤进行检验，应绘出流型图并给出分析意见。
3. 当对导致交叉污染的因素作细致确认时，可测气流的定向性。定向流应按上面步骤进行检验，应绘出流动方向并给出分析意见。
