工业洁净室的洁净度级别是以洁净室内单位体积空气中大于等于某一粒径的悬浮粒子允许数量来规定的。如前所说，随着洁净技术的发展，各国的标准也在不断发展。以前工程界习惯采用的是美国联邦标准FS-209系列。
表1 FS-209E洁净度级别
表1是1992年颁布的FS-209E，它同时采用了英制和国际单位制（立方英尺ft3和立方米尘3）。
该标准以空气中大于等于0.5 μm粒径的粒子允许数量为分级标准，当采用国际单位时，等级的名称为每立方米空气中最大允许粒子数的常用对数值（以10为底），例如：每立方米空气中大于等于0.5μm粒径的最大允许粒子数为3530颗，而3530的常用对数值为3.55，所以命名为M3.5级；若采用英制单位，同一级别折算到每立方英尺空气中大于等于0.5μm粒径的最大允许粒子数为100颗，则命名为100级。
有些工程根据工艺需要需控制的粒径不在上表给出的数值内，可以根据所提供的线算图或换算式进行换算，由于该标准已经不再使用，故不作详述，需要者可以参看有关资料。
