1．洁净室的风量平衡是洁净室维持正压值和洁净度的保证，洁净室出现风量不平衡的主要因素：
(1) 初、中、高效过滤器随着使用时间的增加，其阻力也会增加，造成送风量减少，室内正压值发生变化；
(2) 生产工艺发生变化，排风量增加或减少造成洁净室内正压值的减少或增加；
(3) 随着洁净室投入使用时间的增加，围护结构和门窗出现漏风现象，造成洁净室内正压值发生变化；
(4) 管理不善，人员和设备的出入口、门或气闸室关闭不严，造成洁净室内正压发生变化；
(5) 送风机皮带松动、送风机转速降低造成送风量不足；
(6) 个别FFU的风机或电机发生故障，停业运行造成循环风量不足。
2．解决风量不平衡的措施
(1) 设计选用过滤器风量时过滤器额定风量的75％～80％选用，随着过滤器阻力的增加逐步加大送风阀门的开度直到过滤器达到终阻力时更换过滤器；
(2) 空调箱的送风机或FFU的送风机采用变频电机，初运行时将送风机或FFU的电机运行频率调低，随着运行时间的增加，过滤器阻力也增加时逐步调高电机频率以保证达到设计送风量；
(3) 当工艺排风发生变化时，调整系统的新风量，这就必须把新风系统设计成变新风系统以求得排风和新风达到平衡，否则当工艺发生变化时排风量不能增加或减少；
(4) 加强洁净空调系统的运行管理，提高管理人员的素质，制定严密的管理制度；
(5) 洁净室应配备压差测试仪器，当正压值发生变化时及时报警，采取相应措施保证洁净室的正压值。
