洁净厂房高纯气体输配金属管道安装连接要求如下：
（1）用于输送高纯气体的金属管道的材质主要有：
1）低碳不锈钢。大流量高纯、高洁净度气体原则上全部采用低碳不锈钢管。
2）铜管。在半导体公司中，个别生产工艺如砷化镓的操作，为了防止产生器件电阻，不允许使用铜质管路及其附件，只能使用不锈钢材料。
3）热镀锌无缝钢管。有资料介绍，洁净室的管道不得采用镀锌钢管。
（2）连接方式
1）焊接
高纯、高洁净度气体管道，原则上采用焊接，但防止直接对焊，应采用套管接头，如图1。
图1 管套的正确安装
不锈钢管的焊接：采用氩弧焊，同时管内通入同等纯度的氩气，防止焊接部位氧化。
铜管的焊接：采用40%的银焊条，采用氮气保护焊，管内通入与工艺气体同等纯度的氮气。但要注意，一旦氮气中断或氮气纯度下降，会在焊口附近生成铜的氧化物，产生浸润表面的可能性。所以，当铜管焊接完毕后，要用浸渍丙酮的纱布来回擦拭管内，消除焊接处可能产生的氧化物。
镀锌钢管的焊接：镀锌钢管的焊接会破坏镀锌层，镀锌后如实施补镀锌，实际操作艰难，同时极易加速该处的腐蚀，因此洁净室内管道不得使用镀锌钢管。
2）螺纹连接
螺纹连接的气密性不如焊接的好，不适用于高纯、高洁净度气体管路连接。螺纹连接使用的密封填料残渣有带入气体的危险，而且，内外螺纹旋紧时，金属间的摩擦，会产生金属粉尘粒子，污染气体。如确实必要，应在铜与铜、铜与铜合金附件螺纹连接时，在外螺纹上均匀地挂上一定量的焊锡，提高密封效果、尽可能减少金属粉尘。
3）法兰连接
螺纹或法兰连接处的密封材料应采用聚四氟乙烯，为确保密封效果，在垫片上涂敷少量氟橡胶（白色、室温固化）。
(3) 管路附件的使用
1） 管路附件的材质的选用应与管材的选用原则一致。
2）在采用铜材的管路系统中，可以使用不锈钢材质的管道的附件；反之，不锈钢材质的管路系统中，不容许使用铜质材料的管道附件。
