1 范围
本标准提出了洁净室及相关受控环境的空气化学污染控制的检测、控制等指南。
本标准适用于微电子、光电子工厂以及特殊需求的生产、研究等洁净室及相关受控环境的空气化学污染控制。
本标准不适用于核能和军事应用。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 25915.8—2010 洁净室及相关受控环境 第8部分：空气分子污染分级(ISO 14644-8：2006, IDT)
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
空气分子污染 airbme molecular contamination； AMC
以气态或蒸汽态存在于洁净室及相关受控环境中，可危害产物、工艺、设备的分子(化学的、非颗粒) 物质。不包含生物大分子。
注：空气分子污染即空气化学污染。
3.2
环境反应监测法 environmental response monitoring methods ； ERMs
综合监濯腐蚀性气体对芯片的腐蚀程度的方法。
注：将环境反应采样片(ERCs)放在各个待测区域，如新风机组的进出口，循环风机组进出U等，时间是以30天为一个周期，观察采样片厚度的变化，以A(Angstrom)为单位。
3.3
污染物 contaminant
能对流体的预期使用产生负面影响的物质(固体、液体和气体)。
3.4
气相空气净化装置 gas phase air cleaner device；GPACD
能去除特定的气体和蒸汽等气相污染物的组装设备。
注：在本标准中即化学过滤器，化学过滤器属于气相空气净化装置的一种。
3.5
空气化学污染 air chemical contamination
气相的非颗粒物质，其化学性质对产物、生产工艺或设备产生不利的影响。
4 污染源、分级与分类
4.1 污染源
4.1.1 室外环境的空气污染物:SO,、VOCs、O八NH八HzS'HQ等。
4.1.2 作业人员携带:汗水（NH3）、K离子、PVC手套、香水、发胶等。
4.1.3 制程逸散:制程化学原料——光刻胶、清洗剂、显影剂、去光阻剂、特气泄漏等。
4.1.4 洁净室用材“释气”和设备泄漏:涂料、各类密封胶、期料材质、机台维修等。
4.2 分级与分类
4.2.1 一般的分级见 GB/T 25915.8—2010 中表 1。
4.2.2 微电子和光电子领域的分类与分级参见附录A。
5 检测
5.1 单项污染物检测参见附录B中
5.2 环境反应监测法（ERMs）参见B.3。
注：5.2是采取较长时间的取样方法，通过检测判定分子污染统合影响.
6 空气化学污染控制
6.1 确定是否污染及情况
定性确定是否有空气化学污染。如有，需分析测定污染物的类型和浓度范围。
6.2 控制措施
6.2.1 采用化学过滤器并根据污染物和控制目标，对空气化学过滤器的过滤介质（如活性炭、改性活性炭等）的有效性、装填密度,过滤器的设计、加工的优劣（防止沟流）等进行分析并选择。
注：化学过滤器的性能及检测参见GB/T 36370-2018。
6.2.2 实时监测化学过滤器的出风口，如遇出风口气流中污染物浓度超出规定的标准则应立即更换。
注：空气化学过滤器使用寿命通常为一年，该指标是在标潴指定试脸条件下测定的结果，与实际使用条件有偏差, 只能作为参考。
6.2.3 控制化学分子污染设施系统参见附录C。
6.2.4 微电子工业洁净室空气化学污染控制参见附录D。
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