1 范围
本标准给出了洁净室及相关受控环境的检测要求、基本仪器配置和技术要求。
本标准适用于洁净室及相关受控环境的检测技术分析与应用。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件.仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T 25915.1—2010洁净室及相关受控环境 笫1部分:空气洁净度等级
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
单向流 unidirectional airflow
通过洁净区整个断面、风速稳定、大致平行的受控气流。
注：这种气流可定向清除洁净区的粒子。
3.2
单向流 non-unidircctional airflow
送入洁净区的空气以诱导方式与区内空气混合的一种气流分布。
3.3
离散粒子计数器 discrete-particle counter；DPC
可显示并记录确定体积空气中离散粒子数量和苴径（可辨别粒径）的仪器。
3.4
测试气溶胶 test aerosol
具有已知并受控的粒径分布及浓度的固体和（或）液体粒子的气态悬浮物。
3.5
气溶胶发生器 aerosol generator
能以加热、液压、气动、超声波、静电等方式生成浓度恒定、粒径范围适当的（例如，0.05 μm?2 μm） 微粒物质的器具。
3.6
气溶胶光度计 aerosol photometer
利用光散射原理、用前散射光腔测量空气悬浮粒子质量浓度的仪器。
3.7
已装过滤系统 installed filter system
已安装在顶棚、侧墙、装置、风管上的过滤系统。
3.8
已装过滤系统检漏 installed filter system leakage test
为确认过滤器安装良好，向设施内无旁路渗漏，过滤器及其安装框架均无缺陷和渗漏而进行的检测。
3.9
扫描 scanning
让气溶胶光度计或离散粒子计数器的采样口覆盖面，以略右重叠的往复行程移过规定的检测区来查找过滤器及其他部件渗漏的方法。
3.10
等动力采样 isokinetic sampling
采样口进气气流的平均风速与该位置上单向流的平均风速相等的采样条件。
3.11
渗漏 leak
过滤系统因密封性欠佳或缺陷使污染物漏出，造成下风向浓度超过预期值。
3.12
泄漏 leak
压差检测所发现闱护结构的缺陷。
3.13
自净时间 cleanliness recovery characteristic
洁净室被污染后.净化空调系统开始运行到恢复到稳定的规定室内洁净度等级的时间。
3.14
阈值粒径 threshold size
选定的最小粒径以测量大于或等于该粒径的粒子浓度。
4 检测项目与相关应用领域
不同应用领域的常规检测项目见表1。
5 检测技术要求
5.1 检测条件
5.1.1 已装过滤系统检漏合格。（过滤器出厂前应检漏介格；已装过滤系统检漏可以作为单项列入检测项口）（参见附录C）。
5.1.2 净化机组系统完成吹扫和调试、风速、风量及压差符合设计要求。
5.2 技术准备
5.2.1 熟悉设施的系统及其特点。
5.2.2 确定检测项口（包括特定要求）。
5.2.3 确定相关技术标准（包括受控文件和新颁布的技术标准）。
5.2.4 确定检测环境的占右状态（空态、静态、动态）。
5.2.5 配备相关检测仪器及辅料、配件。
5.2.6 准备检测相关文本（布点图、空白表格等）。
5.3 检测仪器受控
5.3.1 仪器仪表在标定的有效期并能正常运转,辅料在使用有效期。
5.3.2 仪表量程、灵敏度/分辨率、满足检测项目要求。
5.3.3 仪表准确度/测量不确定度满足检测项目要求。
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