一、洁净室型式
1. 洁净室可根据电子产物生产工艺特点、空气洁净度等级和布置要求分为隧道式、开放式和微环境等，也可按气流流型分为单向流洁净室、非单向流洁净室和混合流洁净室。
2. 电子工业洁净厂房垂直单向流洁净室的空间，应包括活动地板以下的下技术夹层、洁净生产层和吊顶以上的上技术夹层。
3. 洁净室型式的选择应综合生产工艺要求、节约能源、减少投资和降低运行费用等因素确定，各种空气洁净度等级的电子工业洁净厂房宜采用混合流洁净室。对空气洁净度净度要求严格时，宜采用微环境等型式。
二、洁净室布置和综合协调要求
1. 洁净厂房的平面布置应合理安排洁净生产区、辅助区和动力区,并应符合下列要求:
（1）洁净室（区）人员净化、物料净化和各种辅助用房，应合理分区布置；
（2）生产工艺或生产设备有特殊要求时，宜分隔为单独的房间；
（3）生产过程中排放腐蚀性气体的生产设备或生产工序应分类、集中布置或与其他生产房间分隔；
（4）发热量、发尘量大的生产工序或生产设备，宜与空气洁净度要求严格的房间分隔布置；
（5）洁净室（区）的辅助设备、维修间等技术支持区，宜集中布置在洁净室（区）的相邻房间，技术支持区的空气洁净度等级应低于洁净室（区）的等级；
（6）若需在洁净室（区）内设置洁净电梯时，应采取气闸间、洁净送风措施；
（7）应符合有关防爆、防火、消防等要求。
2. 洁净室（区）的空间布置应满足下列要求：
（1）生产设备、物料运输系统应根据产物生产工艺要求布置，并应做到有效、灵活和操作方便；
（2）各类管线的空间布置应满足生产工艺、安全间距和维修要求，
（3）终端高效空气过滤器、照明灯具和各种公用动力设施的布置，应满足生产工艺、洁净度等级、安全生产和维修要求；
（4）洁净生产层的高度应按生产设备、微环境装置和物料运输设备的外形尺寸确定。技术夹层高度应根据具体工程要求确定。
3. 洁净室（区）内应少分隔，但下列情况应予分隔：
（1）按火灾危险性分类，甲、乙类的房间与相邻的生产区段或房间之间，或有防火分隔要求时，应设隔墙；
（2）在电子产物生产过程中，经常不同时使用的两个生产区段或房间之间；
（3）生产过程中排放影响产物质量的有害气体或化学污染物的工序、设备，宜分隔设独立房间。
4. 洁净厂房的布置应综合协调生产操作、设备安装和维修、公用动力管线、气流流型以及净化空调系统等各类技术设施的需要。
