一、工艺设计一般规定
1. 洁净厂房的工艺设计、工艺布局应为电子产物发展以及产物生产工艺改造和扩大生产预留必要的条件。
2. 洁净厂房工艺设计应确定各种生产条件，在满足电子产物生产要求的前提下，应做到安全性能好、建设投资少、能量消耗少、运行费用低、生产效率高。
3. 洁净厂房工艺设计应根据产物生产工艺和空气洁净度等级要求设置人流路线、物料运输和仓储设施。
二、工艺布局设计要求
1. 洁净厂房的工艺布置应按产物生产工艺流程、洁净室的气流流型、工艺设备的安装和维修、物料运输等要求确定。
在单向流洁净室内进行生产工艺设备、操作程序、人员流动路线和物料传输布置时，应采取避免发生气流干扰和交叉污染的措施。
2. 工艺布局应避免人流和物流之间的混杂和交叉，宜分别设置人员入口、物料入口和设备出入口，并应在各自的入口处设置相应的净化设施。
3. 在满足生产工艺和微振控制、噪声控制等要求的前提下，空气洁净度严格的洁净室（区）宜靠近空调机房布置；空气洁净度等级相同的工序或工作室宜集中布置。
4. 洁净室（区）内要求空气洁净度严格的工序（设备）应远离出入口和可能干扰气流的场所设置，并宜布置在上风侧；易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置或下风侧。
5. 工艺布置时，应根据大型生产工艺设备的运输、安装、维修的要求设置运输通道、安装口或检修口。
6. 洁净厂房内不同空气洁净度等级的洁净室（区）之间联系频繁时，应采取防止污染的措施。
