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电子工业洁净厂房特种气体系统设计要求:1. 特种气体应采用外购钢瓶气体、液态气体供应，在电子工厂内应设置储存、分配系统。 2. 洁净厂房内特种气体的储存分配间应采用耐火极限不低于2.0h不燃烧体的隔...
电子工业洁净厂房干燥压缩空气系统设计要求:洁净厂房内的干燥压缩空气系统应根据各类产物生产工艺要求、供气量和供气品质等因素确定，并应符合下列规定： （1） 供气规模应按产物生产所需供气量和计入必要损耗...
电子工业洁净厂房常用气体系统设计要求:1.常用气体供应系统宜在工厂内或邻近处设置制气装置或采用外购液态气体、瓶装气体。 2. 氢气、氧气管道的终端或最高点应设置放散管。氢气放散管口应设置阻火器。放散...
电子工业洁净厂房气体供应设计一般规定:1. 洁净厂房内应根据生产的需求使用各种不同类型的特种气体、常用气体、干燥压缩空气，其气体品质应满足生产工艺要求。 2. 常用气体的供气方式和供气系统，应根据气...
电子工业洁净厂房纯水系统设计要求:1. 电子产物生产用纯水系统的选择，应根据原水水质和产物生产工艺对水质的要求，并结合系统规模、材料及设备供应等情况，经技术经济比较确定。 2. 纯水的输送干管应敷设...
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