1 范围
本标准给出了洁净室及相关受控环境控制静电的术语和定义、静电控制、培训与规范等要求。
本标准适用于洁净室及相关受控环境的静电控制。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB 4824—2013 工业、科学和医疗(ISM)射频设备 骚扰特性 限值和测量方法
GB/T 18202 室内空气中臭氧卫生标准
GB 50073—2013 洁净厂房设计规范
IEC 61340-5-1 电子设备的静电防护 通用要求(Protection of electronic devices from electrostatic phenomena-General requirements)
IEC/TR 61340-5-2 电子设备的静电防护 用户指南(Protection of electronic devices from electrostatic phenomena—User guide)
IEC 61340-5-3 电子设备的静电防护 静电敏感设备包装特性和要求分级(Protection of electronic devices from electrostatic phenomena-Properties and requirements classification for packaging intended for electrostatic discharge sensitive devices)
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
静电耗散材料 static-dissipative materials
表面电阻率在105Ω?1012Ω之间，或体积电阻率在104 Ω?肠尘?1011 Ω?肠尘之间的材料。
3.2
静电场 electrostatic field
静电荷在其周闱所激发的电场，基本特征是在压差作用下，对位于该场中的其他电荷施以作用力。
注：改写 GB/T 15463—2008,定义 3.3。
3.3
静电势 electrostatic potential
一点与另一个规定参照点之间的电位差。
3.4
静电控制 electrostatic charge control ； ESCC
对于定产物或工艺，将静电效应控制在允许限度之下的，由设施、材料、附件、操作规程构成的系统。
3.5
静电放电 electrostatic discharge ； ESD
静电势不同的物体,因接近或接触导致静电荷的转移。
3.6
静电放电控制 electrostatic discharge control； ESDC
限制或消除静电荷的传递。
3.7
衰减时间 decay time
静电势衰减至初始值的某一规定比值（一般规定为初始值的10%）所消耗的时间。
4 静电控制
4.1 静电来源、危害及监测
4.1.1 来源
常见的静电来源有:工艺设备、某些塑料、人的活动。绝缘体（通常为合成材料）上的电荷不易转移, 若不与其他导体接触，绝缘体上的静电电压可能非常高。
表1列出受控环境中容易出现静电的地方。
表2列出因人的活动产生的静电电压。
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