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洁净室纯化水与高纯水设计要求：（1） 纯化水处理设备的安装除应符合设计要求外，还应符合现行国家标准《电子级水》GB 11446.1等有关规定。 （2） 纯化水处理流程工艺布置与安装方式应合理、安全、...
洁净室给水排水系统设计要求：1. 污染区域特别是微生物污染区域内的供水管，不得与用水设备直接相连，必须有空气隔断，配水口应高出用水设备溢出水位，间隔不应小于2.5倍出水口口径。在供水点和供水管路上均应...
洁净室气体系统分项验收要求:（1） 各种成品应有产物合格证，材料应有质量证明文件。 （2） 实际使用的管道材料和规格应符合设计要求。...
洁净室气体管道系统吹除和供给装置要求:1. 气体管道各项试验合格后，应使用与洁净室洁净度级别匹配的洁净无油压缩空气或高纯氮气吹除管内污物，吹除气流流速应大于20m／s，直至末端排出气体在白纸上无污痕为...
洁净室气体管道系统强度试验要求:1. 可燃气体和高纯气体等特殊气体阀门安装前应逐个进行强度和严密性试验。管路系统安装完毕后应对系统进行强度试验。强度试验应采用气压试验，并应采取严格的安全措施，不得采用...
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