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电子工业洁净厂房配电设计要求：1. 洁净厂房的用电负荷等级和供电要求，应根据电子产物生产工艺及设备要求和现行国家标准《供配电系统设计规范》GB 50052的有关规定确定。 2. 洁净厂房低压配电电压...
电子工业洁净厂房化学品储存和输送设计要求:洁净厂房内各种化学品储存间（区）的设置，应符合下列规定： （1）化学品储存间（区）的储量不应超过该化学品24h的消耗量； （2）化学品应按物化特性分类储存...
电子工业洁净厂房化学品供应管材和阀门设计要求:1. 洁净厂房内化学品的储存、输送方式，应根据产物生产工艺和化学品的品质、数量、物理化学特性等确定。 2. 洁净厂房内使用的各类化学品应按照各自的物理化...
电子工业洁净厂房特种气体系统设计要求:1. 特种气体应采用外购钢瓶气体、液态气体供应，在电子工厂内应设置储存、分配系统。 2. 洁净厂房内特种气体的储存分配间应采用耐火极限不低于2.0h不燃烧体的隔...
电子工业洁净厂房干燥压缩空气系统设计要求:洁净厂房内的干燥压缩空气系统应根据各类产物生产工艺要求、供气量和供气品质等因素确定，并应符合下列规定： （1） 供气规模应按产物生产所需供气量和计入必要损耗...
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